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1、 二次电子像分辨率：1.2nm (15 kV)
2.2nm (1kV)
2、电子源加速电压： 调整范围：0.02～30 kV（无需减速模式实现）；调整步长：每档10 V连续可调；
3、探针电流： 4 pA～20 nA ，稳定性：优于 0.2%/h
4、放大倍数：范围：10～1,000,000× 放大倍数调整：粗、细调模式连续可调 -
样品微观形貌、结构及成分分析
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各种固态样品表面形貌的二次电子像、反射电子象观察及图像处理。
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电询
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