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分辨率:1.2nm at 30kV; 3.0nm at 1kV
放大倍数:10-50万倍
加速电压:0.5kV-30kV
大束流高分辨:5nA,WD10mm,15kV时分辨率3.0nm
束流强度:1pA到200nA -
利用电子束扫描样品表面从而获得样品相关信息,可获得样品表面的高分辨率图像,进行样品表面三维形貌分析。
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分析表征材料微观形貌与细节信息。
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详见本实验室具体规定
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300元/小时