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2个相对位置离子枪；离子枪能量: 0.8 keV 至 10 keV；离子枪倾角:± 45° (每把枪)；样品台倾斜角度: -120° 至 210°； 离子束加工角度:0° 至 90°
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样品进行机械预加工以切割研磨抛光到尽可能接近于目标区域。离子减薄(TEM应用)；离子刻蚀及清洁(SEM应用)；离子束清洁（FIB应用）。
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样品表面抛光；透射样品制备，EBSD样品制备
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校内外均可通过现代分析与基因测序中心系统预约。
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EBSD样品处理：300元/个
透射样品处理：3小时内300元/个，超过3小时按照两个样品收费
