台式激光直写光刻机
- 规格型号：Microwriter ML Baby
- 仪器分类：工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 其他
- 生产厂商： Durham Magneto Optics Ltd
- 仪器类别： 专用
- 郑州大学
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1. 无需物理掩膜板
2. 分辨率：1.0um
3. 直写速度（mm2/min）：3@1um res
4. 边缘粗糙度：优于200nm
5. 常规对准精度：2um，可视化对准精度：200nm -
制作图形电极
制备半导体器件 -
图形光刻
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1. 预约使用
2. 注意设备操作规程 -
1000元/小时
