欢迎访问河南省科研设施与仪器共享服务平台!
T0371-65957129
登录 | 注册
大家都在搜： 分析仪 电感耦合 测试 分光光度 扫描电镜 仪器
首页| 仪器资源| 科研仪器

反应离子刻蚀机

规格型号：Etchlab200
仪器分类：工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 电子产品通用工艺实验设备
生产厂商： SENTECH
仪器设备类别： 通用
信阳师范大学
最大可装载直径200mm的晶圆片，可以直接刻蚀包括硅、硅化物、III-V族化合物半导体、电介质和金属等材料
反应离子刻蚀机主要是结合化学气相反应与等离子体刻蚀的方法，用于刻蚀硅、二氧化硅、聚苯乙烯、二氧化钛等材料，普遍用于晶体硅光伏电池的陷光绒面、半导体器件以及纳米电子材料等领域的研究
刻蚀包括硅、硅化物、III-V族化合物半导体、电介质和金属等材料
提前一周预约；遵守校内共享管理制度规定；
100元/小时
热门预约

多段编程生化培养箱

分类：分析仪器 -> 其他 -> 其他

服务次数：345

  河南省水产科学研究院

单光子激光共聚焦显微镜

分类：分析仪器 -> 显微镜及图像分析仪器 -> 激光共焦显微镜

服务次数：240

  河南省立眼科医院

扫描电子显微镜

分类：分析仪器 -> 电子光学仪器 -> 扫描电镜

服务次数：234

  郑州航空工业管理学院

总有机碳分析仪

分类：分析仪器 -> 环境与农业分析仪器 -> 土壤养分测试仪

服务次数：230

  河南省水产科学研究院

液相色谱仪

分类：分析仪器 -> 色谱仪器 -> 液相色谱仪

服务次数：224

  河南省水产科学研究院

多通道连续流动分析仪

分类：分析仪器 -> 质谱仪器 -> 同位素质谱仪

服务次数：203

  河南省农业科学院植物营养与资源环境研究所

关于我们

问卷调查

主办：河南省科学技术厅 承办：河南省科学器材供应中心

地址：河南省郑州市金水区政六街2号5楼 邮编：450003 电话：0371-65957129 邮箱：hnisscn@163.com

Copyright©2016 www.hniss.cn All Rights Reserved 豫ICP备16019691-1 访问统计：5992870