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                                    样品视景:可选放大倍率,1to4mmFOV
 探针传感器:低惯量传感器(LIS3)
 探针压力:使用LIS3传感器:1至15mg
 探针选项:探针曲率半径可选范围:50nm至25μm;高径比(HAR)针尖:10μm×2μm和200μm×20μm;可按客户要求定制针尖
 样品X/Y载物台:手动X-Y平移:100mm(4英寸);机动X-Y平移:150mm(6英寸)
 样品旋转台:手动,360°旋转;机动,360°旋转
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                                    测量技术:探针轮廓仪DEKTAK XT
 测量功能:二维表面轮廓测量/可选三维测量
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                                    测量技术:探针轮廓仪DEKTAK XT
 测量功能:二维表面轮廓测量/可选三维测量
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                                    详见实验室规定
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                                    300元/小时
 
             
                                     
                                     
                                     
                
                 
                
                