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性能指标：
分辨率：0.8nm@15kV 1.6nm@1kV
加速电压：0.02-30kV
加速电压调整步长：每档10V连续可调
探针电流：4pA-20nA
稳定性：优于0.1%/h
放大倍数范围： 10-1,000,000× -
可用于:材料科学（金属材料、非金属材料、纳米材料）、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害（火灾、失效分析）鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。在材料科学、金属材料、陶瓷材料半导体材料、化学材料等领域，进行材料的微观形貌、组织、成分分析。各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体/晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量。
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本仪器提供样品测试、分析检测、技术咨询服务
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至少提前一周电话预约服务，只接收材料类样品；样品不得具有放射性、毒性和腐蚀性；样品须经充分干燥并具有一定的稳定性；须提供样品的名称、分子结构和晶体结构等信息；送样者需明确测试目的，即期望获得什么信息。
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形貌测试 300元/样品，能谱测试 300元/样品 按时间收费：600元/小时
