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一、立柱
①全程直线度：0.069um；
②任意100mm直线度：0.069um；
③定位精度：5um；
④和主轴轴线的平行度：0.05um；
二、横臂直线度
①全程直线度：0.06um；
②任意50mm直线度：0.06um；
③与主轴垂直度：0.28um；
④定位精度：2um；
三、主轴
①径向误差：33nm；
②轴向误差：0.02um；
③定位精度：0.08°；
四、调心调平
①调心范围：5.5mm；
②调平范围：1.44mm；
③调心精度：0.3um； -
一、粗糙度
高分辨率传感器与各轴的低噪音，确保了直线或圆周的表面粗糙度测量；
二、圆度
无摩擦的空气轴承主轴和高精度立柱，保证圆度，圆柱度和直线度测量精度；
三、轮廓
采用已获专利的校准技术，使仪器能对半径、角度、高度、长度、距离等进行测量； -
最大攻坚直径φ400mm
最大工件高度500mm
最大测量深度160mm
最大测量直径φ350mm
最大工件重量75Kg
最大工作台力矩载荷1250Kg/mm -
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