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电子枪:发叉式钨丝阴极,2分辨率:高真空二次电子像 ≤5.0nm @30kV SE。抽真空系统:涡轮分子泵 + 机械泵,不需要冷却水;EDS探测器:分析型SDD硅漂移电制冷探测器,20mm2有效面积, 能量分辨率:Mn Ka保证优于133eV, 元素分析范围: B5~Pu94。
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该设备利用创新的双聚光镜成像技术,采用大型扫描电镜成像方式,使用二次电子探测器作为基础成像单元,从而,可以获得更高的分辨率(<5nm),是真正意义上的高分辨率台式扫描电镜。EM-30 Plus台式电镜配置SE+BSE探测器,可实现对样品的元素衬度、形貌衬度进行分析,同时,也可选配EDS探测器(能谱仪),快速实现对材料微区化学成分进行定性及定量分析。
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主要用于测量机械加工表面质量的变化情况等。
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预约后与实验室联系,确认测样的数量、要求、费用及测样时间。
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根据测样内容确定