-
1、真空指标：极限真空优于：1x10-6Pa
2 、靶台组件指标：靶组件可装Φ70mm靶材四个；除了公转换靶旋转外，每块靶材可实现自转，转速5～10转/分
3、 基片台组件指标：加热器能在氧气气氛中工作，基片加热温度：室温—900℃，控温精度：±1℃；
4、工作气路指标：要求选用100SCCM质量流量控制器3路；全金属角阀CF16、管路、接头等：
5、真空度检测系统
6、进样室指标 极限真空优于：1X10-4Pa；采用磁力样品传送杆；
7、成膜指标 -
制备高质量薄膜、异质结、多层薄膜、以及梯度薄膜。
-
提供制备高质量薄膜、异质结、多层薄膜、以及梯度薄膜技术服务。
-
1、 提供自需的靶材，尺寸30mm；
2、基片大小不大于10mm；
3、可以提供氧气氛；
4、自己设定制备条件。 -
每小时300元
