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波长: 248nm 脉冲能量:700m J 平均功率: 30W 复频率: 50Hz ★ 脉冲宽度: 20 ns 能量稳定性(1 Sigma): 优于1% 光斑大小(V×H): 12×28 mm 光斑方向:横向 光束发散角(V×H): 1×3 mrad
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提供KrF准分子激光光源。
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可以光刻、激光腐蚀、制备薄膜使用。
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1.光路自行设计;
2. 无其他规定。 -
每小时500元