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准分子激光器

规格型号:205
仪器分类:其他仪器 -> 其他 -> 其他
生产厂商: 美国相干公司
仪器设备类别: 专用
河南工学院
波长: 248nm 脉冲能量:700m J 平均功率: 30W 复频率: 50Hz ★ 脉冲宽度: 20 ns 能量稳定性(1 Sigma): 优于1% 光斑大小(V×H): 12×28 mm 光斑方向:横向 光束发散角(V×H): 1×3 mrad
提供KrF准分子激光光源。
可以光刻、激光腐蚀、制备薄膜使用。
1.光路自行设计;
2. 无其他规定。
每小时500元
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