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金属、气体离子单独注入 金属、气体离子混合注入 引出电源:0-2KV/100KV,30mA 主弧电源：0-120V,1A; 0-100V, 10A 灯丝电源：0-8V,30A
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主要真空室（1个）：φ750mm x 500mm；小处理室（2个）：φ250mm； 真空室采用K400T扩散泵、ZJP-150罗茨泵、2X-70机械泵实现预抽及高真空抽气；极限真空优于6 x 10-4 Pa，真空度在空载情况下60min达到1.5 x 10-3 Pa，系统漏率≤10-8Pa.1/s；且停泵关机12小时后真空度优于5Pa。
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用于材料表面改性、作物种子及微生物诱变育种。
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1、仪器设备由专业仪器管理员操作，如需使用请提前一周预约。
2、实验结束后请将实验用具及时归位，清洁实验台并做好记录和登记。
3、实验中遇到异常情况须及时通报仪器管理员，切勿擅自处理。 -
校内200元/时 校外400元/时， 其它样品：根据样品具体特性和要求面议！
