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                                    1. 水冷式溅射源,通用2英寸设计
 2. MFC流量计高精度控制过程气体
 3. DC/RF溅射电源可选
 4. 全自动触摸屏控制方案
 5. 最多2个溅射源
 6. 500℃衬底加热
 7. 衬底旋转,Z向调节
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                                    用于溅射金属和/或者陶瓷膜层
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                                    对固定参数样片制备
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                                    仪器设有专门仪器管理员,需要提前预约使用。
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                                    校外800元/每样, 校内400元/每样
 
             
                                     
                                     
                                     
                
                 
                
                