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磁控溅射仪

规格型号:菲尔姆SCS-350
仪器分类:物理性能测试仪器 -> 其他 -> 其他
生产厂商: 湖南菲尔姆真空设备有限公司
仪器类别: 通用
黄淮学院
1. 水冷式溅射源,通用2英寸设计
2. MFC流量计高精度控制过程气体
3. DC/RF溅射电源可选
4. 全自动触摸屏控制方案
5. 最多2个溅射源
6. 500℃衬底加热
7. 衬底旋转,Z向调节
用于溅射金属和/或者陶瓷膜层
对固定参数样片制备
仪器设有专门仪器管理员,需要提前预约使用。
校外800元/每样, 校内400元/每样
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