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1. 水冷式溅射源,通用2英寸设计
2. MFC流量计高精度控制过程气体
3. DC/RF溅射电源可选
4. 全自动触摸屏控制方案
5. 最多2个溅射源
6. 500℃衬底加热
7. 衬底旋转,Z向调节 -
用于溅射金属和/或者陶瓷膜层
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对固定参数样片制备
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仪器设有专门仪器管理员,需要提前预约使用。
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校外800元/每样, 校内400元/每样