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1. 针尖距范围：200mm手动探针台；2.X-Y方向移动范围：203mm * 203mm，Z方向移动范围：5mm；3. 测试类型：直流测试、可靠性测试、建模；4. 金相显微镜50-1000X；5. 0.5μm 钨针探针*4；
6. 温度范围：20~300℃；7. 光学稳定平台和屏蔽罩；8. 3百万像素CMOS相机拍照。 -
用于搭建，测试二维微纳半导体器件，包括TFT、CMOS、LED、探测器、电池等器件的电学特性、光电特性、低频特性和直流性质的测试。测试样品在变温下的电学性质，据此分析器件内部载流子的传输机制。
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主要用于薄膜半导体器件、纳米器件、存储器件、MEMS 、晶圆级器件等器件的测试，对样品进行精确的探针定位。
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校内提前一周预约，校外提前两周预约
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200元/小时
