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1.有效测量范围：X=700mm;Y=1000mm;Z=650mm；
2.长度测量误差：MPE（EO）=1.4+L/350μm；
3.单针形状测量误差：MPE（PFTU）=1.4μm。 -
1.测量工件的形位误差；
2.测量工件的尺寸。 -
能对尺寸小于700mm、1000mm、650mm工件的尺寸和形位误差进行测量，精度可达到0.5μm。
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符合学校大型仪器设备共享相关规定，具体事项请联系仪器管理员
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协商收费，请联系系统管理员
