微/纳力学性能测试系统

规格型号：Nano Indenter G200

仪器分类：物理性能测试仪器 -> 力学性能测试仪器 -> 材料试验机

生产厂商： KLA corporation

仪器类别：通用

技术指标: 压头总的位移范围: ≥ 1.5 mm 压痕深度: > 500 um 位移分辨率: 0.01 nm 加载模式: 电磁力载荷(标配): > 500 mN 载荷分辨率: 50 nN 高载荷选件: 10 N/50 nN DCM 压痕选件: 10 mN/1 nN 框架刚度: ≥ 5 x 106 N/m 有效使用面积: 100 mm X 100 mm 定位精度: 1 um
主要功能: 在微/纳尺度范围内的加载和位移构成精确的力学测试 – 半导体器件, 薄膜 – 硬质涂层, DLC薄膜 – 复合材料, 光纤, 聚合物材料 – 金属材料, 陶瓷材料 – 无铅焊料 – 生物材料, 生物及仿生组织等等
服务内容: 在微/纳尺度范围内的加载和位移构成精确的力学测试 – 半导体器件, 薄膜 – 硬质涂层, DLC薄膜 – 复合材料, 光纤, 聚合物材料 – 金属材料, 陶瓷材料 – 无铅焊料 – 生物材料, 生物及仿生组织等等
用户须知: 1.工件材料硬度不能太高，莫氏硬度要小于8.5；2.工件工作表面要光滑平整，要经过抛光处理，表面粗糙度要小于30nm
参考收费标准: 维纳压痕按压痕个数收费，100元/点；维纳划痕按划痕次数收费，300元/次。

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