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离子加速电压：2 ～ 8 kV 离子束直径：500 um( FWHM) 研磨速率：500 um（两小时的平均值、8 kV、硅材质换算、突出量:100 um） 样品架冷却可以达到的温度：-120 ℃
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B-19520CCP在加工过程中利用液氮冷却，能减轻离子束对样品造成的热损伤。冷却持续时间长、液氮消耗少的构造设计。根据需要可以选择不同的功能性样品座，不仅能截面抛光，还可以进行平面抛光，从而进行扫描电子显微镜，（EBSD）检测
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承载样品的最大尺寸：11mm(长) × 8mm（宽）× 3mm（厚）
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请提前一周预约！
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样品收费：300元/个
