1、噪音水平:0.02nm,位移换算20 fm/√Hz。2、配置3种扫描器,高速扫描器10μm x 10μm x 1μm,在保证高分辨率的基础上提高速度5-10倍;大范围扫描器30μm x 30μm x 5μm;高分辨扫描器2.5μm×2.5μm×0.3μm,支持液体及大气状态下的高分辨成像。3、分辨率:XY:0.2nm,Z:0.01nm,大气及液体环境中均可得到清晰稳定的云母原子图像。4、动态模式探针频率范围:1KHz~5MHz,最小步进值为1Hz。5、扫描精度控制:XY方向16位控制;Z方向26位控制。6、支持样品最大尺寸: Ø38mm×8mm。
7、可实现腔体内气氛湿度控制: 湿度控制范围为5%~80%或更宽范围;可以充放不同气体,舱内温度控制范围室温~55℃或者更宽范围;可实现样品冷却和加热功能,温度范围为:-50℃~300℃,控温精度:≤±1℃;环境控制舱具备抽取低真空功能,配置真空泵,真空度优于10-1Pa8、配备气体微流注系统,可以定向向样品表面吹微量气体9、环境控制舱具有手套箱功能可以实现在腔体内简单制样、更换样品等操作10、提供光辐照单元,可以在样品