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最大基片尺寸:300mm 2.最大功率:ICP-1000W,RIE-600W 3.气体种类:6种
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可用于清洗基底表面,干法刻蚀制备模板,去除残胶以及改变基底表面粗糙度和亲疏水性
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样品刻蚀
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1、试样按国家标准进行制样3、试样测试前按国家标准进行调试
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150元/小时