欢迎访问河南省科研设施与仪器共享服务平台!
T0371-65957129
首页| 仪器资源| 科研仪器

三靶磁控溅射系统

规格型号:PVD 75
仪器分类:工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 其他
生产厂商: 科特莱思科/科特莱思科
仪器类别: 专用
河南大学
1. 镀膜腔体为D型304不锈钢腔体;尺寸 360mm宽 x 360mm深 x 610mm 高;前开门设计;配有方形观察窗。
2. 真空系统极限压强可达≤5x10-7Torr;
3. 具有3台Torus溅射靶枪,靶材尺寸为3英寸;
4. 样品台基片背部石英灯烘烤加热,最高温度达350℃,PID控温,控温精度+/-0.1℃;
5. 4英寸基片成膜均匀性优于±5%
金属薄膜和半导体薄膜的制备
薄膜制备设备
如非现有靶材,无法提供镀膜服务;请提前一周咨询预约
150元/小时
热门预约

多段编程生化培养箱

分类:分析仪器 -> 其他 -> 其他

服务次数:345

  河南省水产科学研究院

单光子激光共聚焦显微镜

分类:分析仪器 -> 显微镜及图像分析仪器 -> 激光共焦显微镜

服务次数:240

  河南省立眼科医院

扫描电子显微镜

分类:分析仪器 -> 电子光学仪器 -> 扫描电镜

服务次数:234

  郑州航空工业管理学院

总有机碳分析仪

分类:分析仪器 -> 环境与农业分析仪器 -> 土壤养分测试仪

服务次数:230

  河南省水产科学研究院

液相色谱仪

分类:分析仪器 -> 色谱仪器 -> 液相色谱仪

服务次数:224

  河南省水产科学研究院

紫外可见分光光度计

分类:分析仪器 -> 光谱仪器 -> 紫外可见分光光度计

服务次数:195

  河南省水产科学研究院

主办:河南省科学技术厅 承办:河南省科学器材供应中心

地址:河南省郑州市金水区政六街2号5楼 邮编:450003 电话:0371-65957129 邮箱:hnisscn@163.com

Copyright©2016 www.hniss.cn All Rights Reserved 豫ICP备16019691-1 访问统计:10836