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磁控溅射系统

规格型号：75PRO-line
仪器分类：工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 电子产品通用工艺实验设备
生产厂商： 美国科特莱斯科/科特莱斯科
仪器类别： 专用
河南大学
1. 方箱型304不锈钢腔体，名义尺寸约为350mm宽 x 350mm深 x 610mm高。
2. 系统的极限压强≤2 x10-7 Torr
3. 样品台带电机驱动实现连续旋转，最大转速可达20转/分钟。
4. 样品台加热最高温度不低于350℃，PID控温，控温精度+/- 1℃。
5. 加热方式采用石英灯加热器。
主要用于各种光电薄膜器件中透明导电薄膜的制备
根据靶材材料提供金属和半导体薄膜的可控制备
请提前一周预约并联系管理员确定制备条件，仅可制备非挥发类固体薄膜
100元/小时
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