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1. 分辨率:二次电子图像1nm/1.3nm (15kV/1kV),背散射电子像3nm(15kV)
2. 放大倍数:25-100,0000;
3.EDS能量分辨率129eV;
4. 点分析/面扫描/ 线扫描/单谱分析 -
表面形貌观测、截面样品断面分析,化学元素定性和半定量分析
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固体、薄膜等样品的表面、断面形貌观察和能谱分析
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1>不能进行液体、含挥发性成分物质的测定;
2>样品物理化学性质需稳定;
3>不能进行含有磁性或易被磁化样品、带静电的粉末样品进行测试。 -
100元/次,每次1小时。