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能量分辨率和灵敏度：对Ag3d5/2峰，半高宽优于0.43eV
能量分析器：180o半球能量分析器
X射线束斑尺寸：20μm～900μm
能量扫描范围：不小于0～5000 eV
X射线光源功率：不低于100W
刻蚀能量：100eV～4keV连续可调 -
标配离子散射能谱 (ISS)功能
标配反射电子能量损失谱 (REELS)功能
标配“样品预处理”室
多技术分析的多功能性、多个样品制备技术可选、多样品分析
单色化X射线源
双晶体微聚焦单色器配备一个 500 mm 直径的罗兰圆，使用铝阳极靶
样品 X 射线光斑尺寸可选择范围为 200 至 900 μm
基于光电效应原理，用X射线照射样品表面，使原子或分子的内层电子或价电子受激发射出来成为光电子，利用能量分析器测量光电子动能，根据公式B.E=hv-K.E-W.F计算出激发电子的结合能，从而获得样品表面元素及其化学状态信息 -
仪器控制、数据采集、数据处理和报告生成
允许远程控制，并且可轻松与第三方软件交互（例如 Microsoft Word）
管理从样品载入到报告导出的整个分析过程 -
周一至周五（工作日）
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粉末样品制样：50元/样
常规测试：150元/样（超过五个元素，每增加一个元素加收20元）
Ar离子刻蚀：50元/样（超过5分钟，每增加一分钟加收20元）
