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使用 EX06 离子枪时透镜组和能量分析仪的电源可反向（确保离子散射能谱 (ISS) 可用）
电子枪可加压升至 1000 V，为 REELS 提供优异的离子源
技术选项
非单色化 X 射线光源的XPS分析
AES（俄歇电子能谱）
UPS（紫外光电子能谱）
真空系统
5 mm 厚高导磁?金属分析室，最大程度提高磁屏蔽效率
与使用内部或外部屏蔽的方法相比，屏蔽效能更佳 -
高灵敏度能谱
小面积 XPS
深度剖析能力
角分辨 XPS
标配离子散射能谱 (ISS)功能
标配反射电子能量损失谱 (REELS)功能
标配“样品预处理”室
多技术分析的多功能性
多个样品制备技术可选
全自动无人值守式分析
多样品分析
单色化X射线源
双晶体微聚焦单色器配备一个 500 mm 直径的罗兰圆，使用铝阳极靶
样品 X 射线光斑尺寸可选择范围为 200 至 900 μm
透镜、分析仪和检测器构成XPS检测系统+XPS光谱仪在成像和微区方面的分析能力都是独一无二的
两种类型的检测器可以确保为每种分析提供最佳检 -
仪器控制、数据采集、数据处理和报告生成
允许远程控制，并且可轻松与第三方软件交互（例如 Microsoft Word）
管理从样品载入到报告导出的整个分析过程 -
周一至周五
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粉末样品制样：50元/样
常规测试：150元/样（超过五个元素，每增加一个元素加收20元）
Ar离子刻蚀：50元/样（超过5分钟，每增加一分钟加收20元）
