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1.基片尺寸：6英寸及以下；
2.射频电源：等离子体源1000W,13.56 MHz；偏置源300W，13.56 MHz. -
1.控压阀门：电动预设位置；
2.温度控制：循环水冷控制载片台温度；
3.工艺气体：7路气体；
4.工艺性能：金属氧化物材料、三五族材料及硅材料蚀刻 -
晶圆蚀刻
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预约请提前联系。
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院内 600元/小时；校内800元/小时；校外1000元/小时。不足一小时按一小时计算。
