磁控溅射镀膜机
- 规格型号：Sputter-150
- 仪器分类：工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备
- 生产厂商： 北京芯微诺达科技有限公司
- 仪器设备类别： 通用
- 郑州大学
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1.基片尺寸：6英寸圆片及以下；
2.极限真空：7.6*10-5 帕斯卡；
3.三个靶枪；
4.二路工艺气体 -
晶圆表面镀膜，可依程序自动调节进气种类，流速和温度等参数。
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晶圆镀膜
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预约请提前联系。
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院内：400元/小时；校内：500元/小时；校外700元/小时。不足一小时按一小时收费。
