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分辨率：≤0.5nm@15kV; ≤0.7nm@1kV；≤0.9nm@0.5kV 放大倍数：10 to 2,000,000× 加速电压：0.01 to 30 kV 束流强度：1pA-400nA 样品台：5轴马达驱动 探头类型：SED、UHD、BED-C、EDS（Oxford UltimMax40）、EBSD（Oxford C-nano）、3D激光共聚焦（Olympus OLS5100）
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金属、非金属、生物等各种样品的纳米尺度的形貌分析；微区成分分析；微区取向、微观织构分析；晶体结构分析；物相分析、表面三维形貌等。
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金属、非金属、生物等各种样品的纳米尺度的形貌分析；微区成分分析；微区取向、微观织构分析；晶体结构分析；物相分析、表面三维形貌等。
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按照操作规程进行设备操作。
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对外共享750元/小时，校内300元/小时，院内300元/小时
