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1.离子枪：带袖珍稀土磁铁的两个离子枪。2. 减薄入射角：-10o—+10o，每个枪可独立调整。3. 离子束能量：0.1keV- 8keV。4. 束斑尺寸：250μm FWHM(5keV)—800μm FWHM(5keV)。5. 离子束流密度：10mA/cm2。6. 离子束调整：通过荧光屏精确调整。7. 样品尺寸：3mm或2.3mm。8. 抽气系统：涡轮分子泵和无油机械泵两级系统。9．真空度：5 × 10-6Torr 基本压强；工作时8× 10-5Torr。
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用高能离子束轰击样品表面，从而使样品逐渐减薄，为透射电镜制样。
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用高能离子束轰击样品表面，从而使样品逐渐减薄，为透射电镜制样。
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按照操作规程进行设备操作。
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对外共享300元/小时，校内120元/小时，院内120元/小时
