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具体技术规格：
1.真空腔室：
1.1腔体规格：内部尺寸380*380*530mm；
1.2开门方式：腔体有前后二个可完全打开的门，一个为滑动式开启，用于连接手套箱，一个为旋转开启，用于维护清理；
1.3极限真空：腔体漏率低于5*10-5Pa.m3/S，极限真空4*10-5Pa;
1.4抽速：从大气抽至5*10-4Pa≤15min;
1.5真空配件：所有的真空配件脱水去气处理，提供腔体内部测试的残气成份分析报告；
2真空系统：
2.1前级泵：抽速15立方米每小时；
2.2分子泵：抽速700L/S；
2.3气动高真空插板阀：口径150mm；
2.4真空系统设计：带有旁抽式结构，可不停分子泵开启真空腔室；
2.5真空计：复合真空计，1x105Pa-1x10-5Pa；
2.6角阀：高真空气动阀门口径25mm -
可蒸镀有机、低熔点无机物以及各类金属等
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用于用于光学薄膜、材料、物理、化学、电子、能源等相关学科，以及有机发光二极管、钙钛矿太阳能电池、量子点等方面的研究
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如需使用，请提前预约
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根据测试情况而定
