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主要技术指标
2.1 ★集白光干涉、 共聚焦、 多焦面叠加、 三种常用三维扫描方式
2.2 高度(z 轴)显示分辨率≤0.01 nm； 重复性≤10 nm；
2.3 共聚焦镜头： 20 倍、 50 倍； 干涉镜头 10 倍
工作距离： 10 倍干涉镜头≥7.4 mm
20 倍共聚焦≥4.5 mm；
50 倍共聚焦≥1 mm；
2.4 50 倍镜头横向分辨率≤0.21μ m；
2.5 高度测量范围≥150 mm；
2.6 ★视场范围 10 倍≥1754μ m× 1320μ m
20 倍≥877× 660μ m；
50 倍≥351× 264μ m；
2.7 LED 光源， 使用寿命≥40000 h；
2.8 ★样品台最大倾角≥86° ；
2.9 典型粗糙度测量时间＜3 s；
2.10 自动扫描功能， 无需调节扫描参数， 设备自动扫描；
2.11 扫描模板设置， 保存， 调用；
2.12 权限设置（工程师仅有使用权限， 管理员具有程序修改权限） ；
2.13 透明膜层模式； -
用于观测材料表面形貌和表面轮廓； 能够实现材料剖面 3D 测量
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全自动测量（镜头自动扫描） ； 高分辨率、 大景深观察； 表面粗糙度测量； 膜层厚度测量等等
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如需使用提前预约
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根据具体测试内容和制造工艺确定
