可控环境的光电子能谱及扫描开尔文探针集成系统

光谱能量范围：3.4-7 eV；
测试重复精度：≤0.05 eV；
测试时间：≤5 min ；
探头直径：2毫米和50微米内嵌不锈钢探头；
功函测试精度：1-3 mV（2毫米探头）)，5-8 mV（50微米探头）；
最大测试样品尺寸：50 mm ×50 mm；
测试频率：0.1-10 HZ；
样品测试台：直径31 mm的样品桩；
电动升降台：高度控制，行程25 mm；
自动高度控制：步幅控制0.3175 μm；
腔室尺寸：510 mm×380 mm×455mm；工作台尺寸：900*600*60mm光学平台；
相对湿度控制：25-80%；相对湿度精度：1%；样品温度控制：室温-250℃；
含氧量控制：手动氮气冲洗， 小于0.5%；

该设备主要包含五个模块：光电子能谱（APS）测试模块、扫描开尔文探针（SKP）、表面光电压测试模块、样品加热系统和环境腔室；可以实现非接触无损快速测量半导体材料的费米能级、导带底能级、价带顶能级、HOMO-LUMO和局域态密度，在可控气体环境、不同湿度控制条件下以及不同单色光引入时可以测量样品的绝对功函和可以测量样品的相对功函及其表面形貌。

能带位置、态密度测试

固体薄膜

150元/小时