飞秒激光双光子聚合微纳加工系统

加工最小特征尺寸200nm，小于200nm为正向偏离；三维加工范围：120μm *120μm*100μm，大于此范围为正向偏离；z向重复定位精度：5 nm，小于5nm为正向偏离；表面平滑度：5nm，小于5nm为正向偏离；XY最大扫描速度：15mm/s，大于15mm/s 为正向偏离；高速光开关：500 μs，小于500 μs为正向偏离；软件支持二维DXF数据模型、三维STL数据模型直接输入加工；支持SU8光刻胶、蛋白质等聚合物和生物材料双光子聚合三维加工.

Maleon系列飞秒激光双光子聚合微纳加工系统具有高加工分辨率（200nm），加工误差小于5nm。针对激光加工过程中的材料特性，对激光扫描程序进行优化，保证各类材料的加工工艺，验证了金属、金刚石以及半导体在内的多种材料加工程序和工艺。

微纳结构加工

科研、教学、企业内部质量控制、企业产品研发等目的需要相关检测数据的申请人，可根据需求对我中心具有的仪器设备进行咨询并提出测试申请。申请人需提前3个工作日向我中心提出申请并提供相关标准及技术要求；我中心调研判断符合共享条件的，通知申请人先进行网上预约，预约成功后中心会与申请人沟通样品要求、测试条件、测试方法、送样时间等信息，并在约定时间内提供检测数据。

300元/时