电子束镀膜系统
- 规格型号：PD-500
- 仪器分类：工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备
- 生产厂商： Electron beam coating system
- 仪器类别： 通用
- 郑州大学
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1、薄膜厚度片内、片间均匀性及重复性优于±5%；2、配置有基板加热系统，使工艺腔室温度可达到120℃以上，温度偏差±10℃以内，最高加热温度可达350℃。3、镀锅旋转速度可控，旋转速率：5-12转/分钟；4、工艺腔室极限真空≤3.010-5Pa； 压力上升：≤5.010-6Pa·m³/秒；
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1、连锁安全功能（门处于开启状态下，电子束及加热等无法进行工作，确保操作人员安全）；2、电子束蒸发源电源过载保护功能及出错警报提示功能；3、UPS电源数据保护功能（可在电脑电源切断时提供暂时的电力供应，防止数据丢失）；4、可拆卸保护功能（主要独立保护板配置有安全传感器，当设备工作过程中取下主要防护板时机器停止镀膜）
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镀膜
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1)收费标准中仅为机时费，我方不负责检测或制作样品成败之责。需根据样品具体特性和要求面议! 2)时间计算:从样品装载及开机准备起算，至少收取一小时费用，其后以半小时为单位计价，未满半小时以半小时计价。3）按小时收费。4)镀膜靶材及坩锅耗材等根据市场价格按实际消耗量据实结算。
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校外：800元/小时；校内：600元/小时；院内：500元/小时
