多功能离子减薄仪
- 规格型号：Leica EM RES102
- 仪器分类：特种检测仪器 -> 超声检测仪器 -> 低频超声导波管道减薄远程检测系统
- 生产厂商： 德国徕卡公司
- 仪器类别： 通用
- 河南科技大学
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具有2把离子枪，离子束能量为0.8keV-10keV，相对位置，可分别±45º倾斜，样品台倾斜角度-230º-100º，离子束加工角度0-90º，样品平面摆动角度<360º，垂直摆动±5mm。选配样品台：TEM样品台（Φ3.0mm），SEM样品台。SEM样品台可容纳最大样品尺寸：直径25 mm，高度12 mm。
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可减薄固体样品如半导体、陶瓷、金属材料等，适合于透射电子显微镜、扫描电子显微镜、原子力显微镜和光学显微镜样品的制样。
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制备透射和金相试样
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1.预约制样；2.减薄前试样要满足要求。
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对外共享200元/小时；校内共享100元/小时；院内50元/小时
