微波等离子体气相沉积设备

1，微波：微波发生器工作频率2450 MHz，微波功率0.6~6 KW连续可调。
2，反应腔：微波谐振腔带水冷夹层，基片台直径≥50 mm。
3，气路：4路气体最大流量分别为：氢气1000 sccm，氧气5 sccm，甲烷50 sccm，氮气5 sccm。压强在50-250 Torr之间可以自动调节。危险气体尾气排放及报警装置。
4，冷却水：最大制冷量12 KW，水温在10~35°之间可调。
PLC显示和控制气体流量、压强、阀门开关等。

金刚石生长

金刚石生长

只接受单晶金刚石作为生长衬底，不能掺杂。

1000元/每小时，不足5小时按5小时算。