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1. 支持的扫描模式：白光干涉、相位差干涉、共聚焦、主动照明式多焦面叠加、膜厚模式；
2. 测量显示分辨率：0.001nm；
3. Z轴测量分辨率：共聚焦最大1nm, VSI模式下1nm, PSI 模式下最高可达0.1nm；
4. Z轴测量精度误差：<0.5%；
5. Z轴测量重复性误差：0.1%。 -
非接触式3D光学轮廓仪，能够测量不同的材质，结构，表面粗糙度和波度（平面度），几乎涵盖所有类型的表面形貌。它的多功能性能够满足广泛的高端形貌测量应用。
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1. 提供固态样品的粗糙度、平面度和厚度测量服务；
2. 出测试报告，并给出完整的测量数据；
3. 提供一定的测量结果分析咨询服务 -
1. 仅供固态无腐蚀、无毒性样品测量分析；
2. 请与测试人员沟通具体测量需求。 -
1. 500元/小时；
2. 200元/样品/扫描模式。
