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1. 极限真空优于 4×10-5pa。
2. 主泵抽速不低于 700L/S，采用分子泵；前级泵抽速不低于 15 m³/h。
3. 腔体漏率：整体漏率优于 5×10-10Pa.m³/S，保压 12 小时，压强小于 10Pa。
4. 共 8 组蒸发源，可兼容蒸镀金属和有机材料；源与源之间配有防止交叉污染的防污板。 -
主要用于有机光伏器件，纳米级金属（如金、银、铝）薄膜和有机分子薄膜沉积。
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指导样品准备、仪器使用教学和薄膜蒸镀沉积。
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请提前联系咨询，并自行准备样品。
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校内：600/次
校外：1000/次
注：自行准备样品。
