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扫描电镜

规格型号:Regulus 8100
仪器分类:分析仪器 -> 电子光学仪器 -> 扫描电镜
生产厂商: 日立
仪器类别: 通用
河南大学
电子光学系统:*1分辨率:二次电子分辨率 ≥0.7nm@15kV,0.8nm@1kV;2 总加速电压:0.1~30kV,其中加速电压:0.5~30kV,着陆电压:0.1~2 kV;3 放大倍数:最小≤20倍;最大≥100万倍(底片模式,非显示器倍率);*4 电子枪:冷场发射电子枪,亮度要求108-9A/cm2/sr,配有束流优化功能;*5 电子枪寿命:单支电子枪可保证≥5年以上稳定使用,电子枪同时具有内部+外部烘烤功能,保证意外停电直接启动即可;*6 电子枪特征:亮度 ≥108-9/cm2/sr,能量色散范围低于0.2~0.3eV,保证极高衬度分辨;最大发射束流不大于20nA;*7电子源:束流连续可调,无电子束损伤,电子源直径≤5nm,保证场发射的系统工作,保证低电压工作下的高分辨。8 对中:具有自动对中功能;9 聚焦:自动聚焦,带有聚焦调节;10 像散:自动消像散,带有控制调节;*11 透镜:三级电磁透镜系统,保证高分辨率,保证低电压优异成像;*12 物镜光阑:可内外加热自清洁式,四孔可移动物镜光阑;13 工作距离:最小≤1.5mm,最大≥30mm;14 电镜具有直接观察不导电样品的
扫描电子显微镜(SEM)是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品,通过光束与物质间的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。
进行材料微观放大成像
需提供已处理好样品,所有耗材提供有偿服务。
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