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1.1场发射电子枪；
1.2二次电子分辨率：≤0.5nm@15kV，≤0.7nm@1kV；≤0.9nm@0.5kV；
1.3加速电压：范围不窄于0.01-30kV，最小步进可达10V，连续可调；
1.4分析束流：范围不窄于1pA-500nA，连续可调，在加速电压5kV下保证束流不小于100nA；
1.5放大倍数：光镜模式：1-x30；电镜模式x10 ~ x2,000,000；
1.6复合物镜：包括静电透镜和电磁透镜，可观测磁性样品； -
通过收集场发射电子束照射样品后产生的二次电子、背散射电子等信息，可获取样品表面纳米级高分辨成像，此外还配有高分辨能谱，可实现样品表面元素分布的定性和定量表征。
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可测试样品表面纳米级高分辨成像，此外还可实现样品表面元素分布的定性和定量表征。
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粉末样品需研磨、干燥处理，不可带有溶剂；固体、断面样品尺寸推荐长2-8mm、宽2-3mm、厚2-5mm；样品若带有磁性务必提告知！
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200元/小时
