
台式高性能多功能PVD薄膜制备设备
- 规格型号:nanoPVD S10A
- 仪器分类:工艺实验设备 -> 加工工艺实验设备 -> 其他
- 生产厂商: Moorfield Nanotechnology Limited
- 仪器类别: 专用
- 洛阳理工学院
-
Moorfield Nanotechnol nanoPVD S10A 主要功能及应用方向: 用于在半导体、陶瓷、金属等多种基底上制备高质量的多能薄膜结构, 包括金属薄膜、半导体薄膜、介电、绝缘材料薄膜以及复合薄膜、多层异质结等。
腔体直径200mm,高度240mm,3个溅射靶位,2英寸溅射靶材,直流射频电源可同时输出 -
Moorfield Nanotechnol nanoPVD S10A 主要功能及应用方向: 用于在半导体、陶瓷、金属等多种基底上制备高质量的多能薄膜结构, 包括金属薄膜、半导体薄膜、介电、绝缘材料薄膜以及复合薄膜、多层异质结等。
-
在半导体、陶瓷、金属等多种基底上制备高质量的多能薄膜结构, 包括金属薄膜、半导体薄膜、介电、绝缘材料薄膜以及复合薄膜、多层异质结等。
-
需提前电话联系进行预约。
-
按件收费,具体收费情况根据实际情况进行定价。