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台式高性能多功能PVD薄膜制备设备

规格型号:nanoPVD S10A
仪器分类:工艺实验设备 -> 加工工艺实验设备 -> 其他
生产厂商: Moorfield Nanotechnology Limited
仪器类别: 专用
洛阳理工学院
Moorfield Nanotechnol nanoPVD S10A 主要功能及应用方向: 用于在半导体、陶瓷、金属等多种基底上制备高质量的多能薄膜结构, 包括金属薄膜、半导体薄膜、介电、绝缘材料薄膜以及复合薄膜、多层异质结等。
腔体直径200mm,高度240mm,3个溅射靶位,2英寸溅射靶材,直流射频电源可同时输出
Moorfield Nanotechnol nanoPVD S10A 主要功能及应用方向: 用于在半导体、陶瓷、金属等多种基底上制备高质量的多能薄膜结构, 包括金属薄膜、半导体薄膜、介电、绝缘材料薄膜以及复合薄膜、多层异质结等。
在半导体、陶瓷、金属等多种基底上制备高质量的多能薄膜结构, 包括金属薄膜、半导体薄膜、介电、绝缘材料薄膜以及复合薄膜、多层异质结等。
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