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分辨率：1.2nm at 30kV; 3.0nm at 1kV；
放大倍数：10-50万倍；
加速电压：0.5kV-30kV；
大束流高分辨：5nA，WD10mm,15kV时分辨率3.0nm；
束流强度：1pA到200nA。 -
利用电子束扫描样品表面从而获得材料样品相关信息，可获得材料表面的高分辨率图像，进行三维形貌分析。
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分析表征材料微观形貌与细节信息。
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详见本公司测试设备具体规定。
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300元/小时。
