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微波等离子体化学气体沉积系统

规格型号：优普莱 UP-230
仪器分类：分析仪器 -> 电化学仪器 -> 其他
生产厂商： 玉德科技集团股份有限公司
仪器类别： 通用
中原工学院
"微波发射器频率：2.45 GHz, 915 MHz；沉积功率： 3-6 kW；
等离子团直径：70 mm,
工作气压范围：0-1000mBar； "
气相沉积制备块体或薄膜材料
制备大尺寸宝石级单晶钻石，高取向度金刚石晶体，纳米结晶金刚石，碳纳米管/类金刚石碳（DLC）
提前一周预约. 遵守操作流程。
按协议规定收费
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