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1、真空腔室
1.1 1m*1m*0.8m（SUS304）腔体结构材料：不锈钢（SUS304）；
1.2容器形变：真空前后容器地面形变小于0.5mm，侧面及顶面形变小于0.8mm；
2、真空获得系统；
2.1机械泵：抽速35m³/h；
2.2罗茨泵：抽速100L/s；
2.3系统真空度制备：1~10 Pa，制备时间小于1.8h。
2.4系统真空度维持：容器静态真空度为100 Pa时，24h真空度变化量等于1%；
3、电控系统及腔室附件
3.1真空度测量：分辨率优于1 Pa；
3.2泵组工作状态：对容器的振动功率谱小于1×〖10〗^(-5) m⁄(s^2⁄√Hz) ；
3.3 CF100插板阀：真空漏率1*10ˉ¹¹pa.m³/s；
3.4真空连接管件：真空漏率1*10ˉ¹¹pa.m³/s；电控箱手动控制； -
可模拟低真空环境，监测地面振动噪声，为高精密实验提供低真空、低振动噪声的环境实验条件
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可模拟低真空环境，监测地面振动噪声，为高精密实验提供低真空、低振动噪声的环境实验条件
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不足一小时按一小时收费
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800/小时
