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单色Al Ka大面积XPS：能量分辨率 （eV） 灵敏度(CPS)
≤0.5 400000
≤0.6 1000000
≤1.0 2500000
最佳空间分辨率优于20 um。
成像XPS空间分辨率优于3 um。 -
仪器除常规单色化源XPS外，还配备有紫外光电子能谱（UPS）, 反射电子能量损失谱（REELS），离子散射谱（ ISS）， 角分辨XPS(ARXPS)，单氩离子及团簇离子一体的双模式离子枪，非单色镁铝双阳极靶以及原位加热冷却装置等。
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XPS是一种应用广泛的表面分析方法（10nm以内），可对周期表中除了H, He外的所有元素进行定性、定量和价态分析；结合离子束刻蚀可进行片状或薄膜材料的深度分析；UPS可分析导电样品的价带结构，测量样品的表面功函数等。
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固体样品：可以为粉末、片状或纤维，无放射性，在超高真空条件下稳定不挥发，要求真空干燥（建议120度真空干燥2小时以上），常规XPS测试的片状样品最好控制尺寸为4*4mm以内，厚度1mm以内，粉末样尽可能碾磨为细粉，约10~20mg。 UPS测试样品应为新鲜制备的片状导电样，尺寸不小于5*5mm，厚度3mm内。
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