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1.极限真空:2×10-4Pa(加热除气); 2.漏率:关机12小时后真空度<10Pa;3.抽速:从大气到 3×10-3Pa<40分钟;4.工件架:公自/自转结构 Ф350×H400mm;旋转速度:0-20RPM，转速可调可控;5.主要配置:多弧靶，Ф100 规格;2 套圆形平面靶，靶材3吋;1 套李生平面靶，靶材 500mm×80mm;6.加热温度:室温~550℃;7.温度均匀性<5℃;8.操作方式:手动按键方式;9.整机功率：约60KW；10.占地面积:约3000×1500mm
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可用于电弧离子镀膜、直流磁控溅射镀膜、中频磁控溅射镀膜和高功率脉冲磁控溅射镀膜
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可用于电弧离子镀膜、直流磁控溅射镀膜、中频磁控溅射镀膜和高功率脉冲磁控溅射镀膜
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不足一小时按一小时收费
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500元/小时
