热场发射扫描电子显微镜（含截面AR离子溅射/蒸镀一体化镀膜仪）

扫描速度：标配提供17种非隔行电子束扫描速度，从25ns像素驻留时间到1.64ms像素驻留时间。样品仓尺寸: 120mm Ø x 120mm high(4.75 x 4.75) 。样品座：12 SEM ½ 样品座，可调节高度最大高度60mm。本仪器为德国Carl Zeiss场发射扫描电镜（FESEM），配备牛津仪器Oxford AZtec X-Max 150 X射线能谱仪（EDS）及Gatan MonoCL4阴极荧光谱仪。场发射扫描电镜：1.最高分辨率：0.8nm（15kV）；1.6nm（1kV）；2.放大倍率：12-1000000；3.电子光学系统:①加速电压：20V-30kV，连续可调；②灯丝:肖特基场发射电子枪；4.探测器及成像系统:①样品室内ET二次电子探测器:二次电子像;②In-lens镜筒内高效率二次电子探测器：In-lens图像；③集成在物镜底端角度选择背散射电子探测器:成分像。5.样品室真空度：2*10-4pa。
X射线能谱仪：150mm2大面积分析型SDD探头；Mn Ka优于127eV，谱峰稳定性：1000cps到100000cps，Mn Ka谱峰漂

扫描电镜利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描，激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像，获得测试样品表面形貌的观察。并配有能谱仪装置，这样可以同时进行显微组织形貌的观察和微区成分分析。

分析测试

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