
-
扫描范围:X,Y方向范围30μm,Z方向范围5μm
扫描器闭环噪音:XY轴闭环噪音<60pm,Z轴闭环噪音<50pm
最高扫描速线速度:≥120Hz -
在空气或液体环境中对样品进行表面形貌观测,以及力学性能、电学性能、电化学性能、压电性能测试
-
无
-
无
-
300元/小时