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1. 二次电子像分辨率:在15 kV下可达0.5纳米,在1 kV下可达0.7纳米;2. 可实现从20倍到2,000,000倍的连续放大范围;3. 加速电压范围:0.5至30 kV;4.低真空分辨率:15kV(30Pa)时优于或等于1.2nm,3kV(30Pa)优于或等于1.8nm;5. 样品室配备低真空二次电子探测器。
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主要用于各种材料的超高分辨微观形貌观察和微区分析。适合分析最广泛的样品范围:从传统的金属材料(包含磁性材料)、断口和抛光断面,到不导电的软物质、生物样品的微区形貌、成分和相分布分析。配置X射线能谱仪(EDS) 用于分析X射线信号,了解电子束激发部位试样的微区成分。有图象功能的能谱仪,除了用于进行样品微区成分的定性、定量分析外,还可以进行电镜图象的收集和处理;以及完成快速数字X射线面分布图、定量成分图、线扫描分析等。
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超高分辨微观形貌观察、微区分析
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使用前请先与设备管理员联系
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600元/小时