多光束激光干涉仪系统

1.线性测量：测量精度±0.5ppm（使用XC80环境补偿单元）；
测量分辨率1nm；测量范围：0~4m；
2.俯仰和扭摆测量精度：±0.004A±(0.5微弧度+0.11M微弧度）：测量分辨率：0.03微弧度：测量范围：
±500微弧度；
3.直线度测量：测量精度：典型范围精度：±0.01A±1μm，测量范围：±50μm;扩展范围精度：±0.01A
±1.5μm,测量范围±250μm；测量分辨率：0.25μm;
4.滚摆测量：测量精度：±0.01A±6.3微弧度；测量分辨率：0.5微弧度；测量范围：±500微弧度

主要用于数控机床及非标数控激光加工设备的装调过程中几何精度的检测及校准，以及提供故障
诊断源进行分析。设备采用先进的多光束激光检测原理结构，以及多模块测量应用场景，实现多自由度误
差检测和精度故障综合分析。

主要用于数控机床及非标数控激光加工设备的装调过程中几何精度的检测及校准，以及提供故障
诊断源进行分析。设备采用先进的多光束激光检测原理结构，以及多模块测量应用场景，实现多自由度误
差检测和精度故障综合分析。

严格执行操作规范

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