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二次电子分辨率:0.9 nm;
放大倍数:12 X~2000000 X;
离子束分辨率:≤3 nm
离子束最大可用加工束流强度100 nA。 -
材料形貌及元素表征
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材料形貌及元素表征
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提前预约
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协议收费