跨尺度纳米级三维激光直写设备
- 规格型号：MJ-Works
- 仪器分类：工艺实验设备 -> 加工工艺实验设备 -> 其他
- 生产厂商： 烟台魔 技纳米 科技有 限公司
- 仪器类别： 通用
- 河南省科学院激光制造研究所
-
1.最小特征尺寸（光刻胶)：≤70nm;
2.最佳表面粗糙度Ra（光刻胶)：≤20nm
3.加工分辨率：350nm;
4.双波长输出1030nm/515nm，最高功率≥10W；
5.激光调制频率：≥1MHz;
6.加工样品区域可调最大高度：≥5mm；
7.定位精度<50mm;
8.最大加工面积：150mm×150mm; -
减材加工硬质材料
-
可加工材料：ORMOCER?s,SU-8,AZ-series,ma-P 1200 等光刻胶；玻璃、金属、合金、光纤、晶体、硅片、半导体等材料;
-
严格执行操作规范
-
200元/h
